半导体制造业测量解决方案
为半导体制造工艺
提供测量解决方案
半导体制造工艺的测量解决方案
随着新能源汽车生产的加速推进、商用化 5G 所带动的服务领域持续扩展，以及数据中心资本投资的逐步回暖，半导体市场正显现出复苏与增长的积极迹象。市场预计将持续扩大，并逐步进入为满足不断增长需求而进行的大规模量产阶段。作为解决方案提供商及计量领域的专业企业，三丰已做好充分准备，可针对多种半导体制造工艺提供可靠的测量解决方案。
三丰测量设备助力半导体制造工艺的研发与生产
探针卡
探针卡是半导体晶圆与电子测试系统之间实现电气与机械接触的接口，用于在晶圆切割、键合等后续工序之前，对晶圆级电路进行测试与验证。
三丰 Quick Vision Apex Pro 影像测量机提供高速、高精度的非接触式 CNC 测量，尤其适用于探针卡等小型精密零件，可对针脚高度、孔径等关键尺寸进行精细检测。
推荐测量产品：
Quick Vision Apex Pro
- 有助于在量产过程中预防不合格品
- 多传感器三维测量
- 缺陷检测软件 DDPAK-QV
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引线框架
引线框架是一种薄金属构件，用于将半导体表面微小电极的布线连接至电路板上的大规模电路，是集成电路封装的重要组成部分，通常通过装配设备进行制造。
三丰 测量显微镜 具备同级别中出色的性能与精度，可有效减少零件差异并缩短测量时间。可对引线框架的宽度、间距、高度、翘曲等项目进行高效、准确的测量。
推荐测量产品:
测量显微镜
- 超宽视场与高倍率观察
- 优异的操作性；高 NA、长工作距离物镜，便于有效观察
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喷淋头
喷淋头常用于半导体制造中的材料均匀沉积工艺。其孔径、圆度及真位置等特性，是决定沉积均匀性的关键因素。
随着半导体工艺向更低纳米节点发展，允许误差空间不断缩小，对制造过程的测量与监控提出了更为严格的要求。三丰的创新测量系统正在帮助晶圆厂实现更高的一致性、减少生产瓶颈、提升生产效率、降低晶圆报废率，并最终提高投资回报率。
推荐测量产品:
Quick Vision Pro 系列（搭载 STREAM 功能）
- 全自动化——适用于量产过程中的连续高速测量
- 有助于在量产过程中预防不合格品
- 独有的 STREAM 功能，显著缩短测量节拍时间
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